玻璃基板TGV先进封装遭遇表面处理瓶颈?晟鼎等离子清洗机提供干式解决方案
2026-08-31
随着人工智能、高性能计算等应用对芯片带宽和功耗提出越来越高的要求,传统有机基板与硅通孔(TSV)技术正面临信号损耗、翘曲控制等物理极限。玻璃基板凭借优异的高频性能、低介电损耗、高平整度及热稳定性,成为新一代封装材料的理想选择。而玻璃通孔(TGV)作为2.5D/3D堆叠的核心垂直互联通道,其制程中的表面清洁与活化处理,直接关系到后续金属化填充的质量与最终产品的可靠性。在这一关键环节,等离子清洗机正从辅助设备升级为决定TGV先进封装成败的核心工艺装备。
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